要闻：盛美获得SK海力士清洗设备重复订单

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上海年6月17日电/美通社/ --盛美半导体设备(上海)有限企业接到sk海力士半导体(中国)有限企业12英寸8室saps兆声波单板清洗设备的订单，预计7月中旬交货。 这是从年初至今，盛美获得的第七台清洗设备的订单，也是获得韩国海力士清洗设备后的重复订单。

盛美正在进入快速增长时间，这一重复订单的获得表明，韩国一流半导体制造商肯定了盛美单张清洗设备的优良清洗性能和在大生产线上的运行可靠性。 盛美半导体设备企业创始人、首席执行官王晖博士表示，继续扩大国内外客户群，有信心将saps兆声波这一具有差异的清洗技术在28纳米以下的技术节点上成为领域的主流技术。

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该单张清洗机配备了盛美saps(space alternated phase shift )空间交变相移技术，以及3种独立化学液的供液系统。 可以除去用一直以来流传的清洗方法不能除去的微小粒子和化学烟的堆积，清洗后的芯片成品率大幅提高。

关于盛美

盛美半导体设备企业于1998年成立于美国硅谷，致力于无应力抛光和镀铜设备的研究。 2006年9月盛美开始在亚洲迅速发展，与上海创投一起成立了盛美半导体上海合资企业。 企业位于上海张江高新区，从事研究、开发、工程设计、制造、售后服务。 湿式半导体设备:无应力研磨、镀铜、与兆声波的单片清洗设备。 盛美拥有完善的自主知识产权，取得了60多项国际专利，100多项专利正在申请中。 盛美为用户提供可靠的先进技术处理方案和世界一流的售后服务，可以降低设备的拥有价格。

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