要闻：中微企业首次进入半导体照明市场

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低价的钱贵生产[/S2// S2/] /S2///S2/]

上海年3月14日电/美通社/ --在下周举行的semicon china展会期间，中微半导体设备(上海)有限企业(以下简称中微)将正式推出多反应器金属有机化合物气相生长设备( mocvd )，首次进入半导体照明市场。 prismo d -蓝牙与贸易； mocvd装置可以实现许多复杂的氮化镓、铟镓氮、铝镓氮超薄层结构的大量生产，这些超薄层结构是高亮度led所必需的。 中微的mocvd设备不仅具有精确的参数控制、全自动化解决和独特的紧凑设计等优势，还具有高生产率、高产能和低价格的投入，是led芯片制造过程中不可缺少的新一代mocvd设备。

目前，中微已有mocvd设备在国内知名led制造商运行。

硬件的特点:中具有自主知识产权的mocvd器件最多可以容纳4个反应器，每个反应器可以独立控制 这个创新的设计可以实现优良的生产灵活性。 也是这类设备中唯一具有这种特征的产品。 也就是说，中微的mocvd设备可以在并行模式或串行模式下工作。 这样可以减少交叉污染，保证晶体的质量。 这是先进的led设备所需要的。 中微的mocvd设备在占地面积上也有相当的特点，比竞争对手的单反应器机台的占地面积小近30%。 因此，相对于目前的led芯片生产线，prismo d-blue无疑是占地面积更小的绝佳选择。

设备优先级不同，市场所场所宽广。 作为新的创新领导者，中微为全球半导体制造商提供了先进的技术和设备。 目前，中微有200多台刻蚀反应台在亚洲16条国际领先的半导体生产线上运行。 中微在硅技术上积累的丰富经验和技术知识，以及其严格的研发协议和材料工程背景，创造了一系列半导体制造前端设备。 目前，中微已将其应用于prismo d-blue的开发中。 中微新的led顾客也将从企业严格的供应商管理协议中受益。

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目前，对新的mocvd设备制造商来说也是良好的快速发展时机，特别是对研发和制造中心位于上海的制造商来说。 据法国市场研究机构yole development预测，mocvd设备的市场规模每年将达到43亿美元。 中国在全球制造业中仍占主导地位。 灯泡价格下跌，led照明从以前开始就取代了白炽灯泡。 灯泡变便宜，当然也意味着led制造商获得的利润将更加苛刻，设备制造商比以往更重要的是提高生产效率。 中微的mocvd设备具有极高的生产效率，在这种市场环境中更具特点。

进入半导体照明市场是企业快速发展战略的重要组成部分，中微高级副总裁兼mocvd产品事业集团总经理杜志游博士表示，本公司专业的mocvd技术团队建立了特征明显、非常灵活的mocvd平台，具有独特的创新性，品种繁多 为用户提供高产、廉价的技术，能够用于先进的led设备制造，我们对此感到兴奋。

prismo d-blue是一项出色的工作过程的性能和 也可以扩展到4英寸、6英寸、8英寸的外延晶片。 prismo d-blue具有多个反应器结构的优点，能够最大限度地提高加工的灵活性，而且在各重要的性能指标上的表现非常好。 马拉松测试显示了优越的座椅内、座椅和座椅之间的均匀性和再现性。 这些结果是在外延晶片的加工中不进行工艺参数的调整而得到的。 外延晶片加工的过程对反应腔表面条件、化学气体环境、温度转换控制和其他可变因素极为敏感。 因为在这样的加工过程中，能够达到持续的重复性确实有其独特的一面。

在上述马拉松测试中，prismo d-blue没有发生异常中断，中微通过工艺参数的现场实时监测实现了高可靠性。 这种高可靠性也得益于各种软件程序、高级传输模块、过程自动化和控制技术。 这些同样也是业内广泛认可中微半导体前端加工设备的技术。

为了方便客户的操作和维护，prismo d-blue进行了进一步优化。 这对发展迅速、注重价格的led芯片制造商至关重要。 卓越的加工性能和正常的运行时间可以加大服务之间的差距，新颖的设计优势可以使设备的维护更加简单。 此外，自动化的可编程维护程序使反应室的开关操作更安全、迅速、可预测，同时不易出错。

prismo d-blue目前拥有100多项专利，包括许可证和未经授权的专利，以保护自身的创新能力。 此外，符合半导体制造规则，完全符合semi标准。

中微企业将在semicon china展会期间举办prismo d-blue产品发布会，仅邀请人参加。 详情请与Lorentz tsai ( Lorentz tsai @ amec nsh )联系。

prismo d-blue是中小企业申请的注册商标。

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中小企业致力于向世界芯片制造商和相关高科技行业的世界大公司提供一系列高端芯片生产设备。 企业目前主要提供等离子刻蚀设备和硅通孔( tsv )刻蚀设备，用于国际一线客户22纳米以下的芯片加工制造。 目前，中微已有200多个刻蚀反应台在亚洲地区许多国际领先的生产线上运行。

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